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本文標(biāo)題："電子式微開(kāi)關(guān)、微閥-薄膜制程技術(shù)，測(cè)量工具顯微鏡"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2013-1-8 17:01:33 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
一種熱挫屈線性致動(dòng)微結(jié)構(gòu)（thermally buckling microstrutrue），
系利用隔離技術(shù)在微結(jié)構(gòu)的兩端產(chǎn)生熱氧化的隔離層，或沈積熱膨脹系數(shù)較大的材料，
或減少熱傳導(dǎo)面積，使在微結(jié)構(gòu)的兩端得到較大的熱應(yīng)力，
且較均勻地加熱于薄膜結(jié)構(gòu)，使之產(chǎn)生熱挫屈變形，
進(jìn)而使薄膜式微結(jié)構(gòu)的變形量可隨外界輸入之功率成線性比例放大。
此微結(jié)構(gòu)使用薄膜制程技術(shù)制作成薄膜式（membrane type），未來(lái)可應(yīng)用于電子式微開(kāi)關(guān)、微閥、微幫浦等裝置上
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