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本文標題："金剛石碳膜DLC架構的制造技術"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2018-12-20 23:23:31 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
金剛石碳膜DLC架構的制造技術
類金剛石碳膜(DLC)具有很多有吸引力的性能，如高彈性模量、高硬度
、化學惰性和疏水性能。DLC膜有望用于建造在潮濕和惡劣環(huán)境不退化的微
米和納米尺度架構。Li和Chua給出了在納米結構設計中DLC膜相
比Si基材料的應用潛力。他們討論了DLC的合成和物理性能，DLC用于微機
械和納米機械設備的潛力，以及聚焦離子束(FIB)和FIB一輔助CVD來設計和
制造DLC架構的制造技術。作者也提及了薄膜腐蝕和納米架構設計優(yōu)化等DL
C膜設計和制造技術難題。由于它們的生物相容性良好，納米結構DLC膜也
可以用于生物傳感器和納流控系統(tǒng)，以實現(xiàn)單分子傳感和檢測。作者建議
采用綜合底部．向上和頂部．向下的方法制造高性能復合納米架構用于DLC
基設備。在后續(xù)章節(jié)中Jin等人進一步討論了基于薄膜生長的納米組裝。
在特殊情況下，高性能納米級設備需要制備高取向性和規(guī)則陣列的納
米結構，以獲得有利的各向異性性能或增加設備分立元件(如晶體管)的面
密度。高取向性1 D納米線結構可以提高面密度，同時可以調節(jié)電學和光學
性能。
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